Question

对于半导电样品,用扫描电镜前为什么要喷镀导电材料

Answer 1

这与扫描电镜的工作原理有关。【点击了解产品详情】
扫描电镜的工作原理是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接收、放大和显示成像，获得测试样品表面形貌。在样品表面镀上一层导电薄膜就是为了解决这一问题。
样品表面镀上一层导电薄膜后可以提高样品的导电性，表面的负电荷通过导电膜释放入地，消除荷电现象。电荷释放的前提是膜层必须与金属样品台连接，形成导电通道。
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Answer 2

材料表面镀导电材料的原因主要有两个，一个是避免材料荷电。所谓荷电其实就是入射电子的量大于产生的二次电子或者背散射电子的数量，从而导致在材料表面形成电子的富集（产生负电位）。由于负负相斥的原理，使得后面的入射电子不能在材料表面会聚，产生一系列的后果，例如聚焦不太容易聚清楚，表面形成一道一道白色的二次电子突然放电的现象。因此要得到满意的形貌，应该在材料表面形成一个有效的电子通路，即在样品台和材料表面有导电通路。最佳的办法就是在表面镀膜，这就是为什么扫描电镜要镀膜的原因。另一个原因是增加二次电子发射率，使图像信噪比增强，看上去更漂亮。