Question

净室的洁净室空调特性

Answer 1

洁净室空调的特性
温湿度要求比一般空调低 一般空调要求在25°C~27 °C之间，相对湿度则在55%~70%之间；无尘室空调必须控制在22°C~24 °C之间, 相对湿度则在40%~45% 。恒温恒湿控制 由于半导体制程对温湿度变化的大小极为敏感，故在洁净室大部分区域必须控制在± 1°C 及± 3% 之内。所需的外气较多 由于半导体工厂中，制程系统需使用大量的化学品和毒气，这些化学品和毒气所产生的挥发气体和废气必须予以全数排除，故排气量相当大，为维持无尘室压力比外面的大气压力大，此时所补充的空气量亦随之增加。空调系统24小时全天运转并监控管理 半导体工厂部分制程设备，对温湿度变化极为敏感，如黄光区Stepper光学机台，些微的温、湿度变化均会使设备的准度偏差，另外芯片等产品也必须置放在定温定湿的环境下，故空调系统必须24小时监控管理之。半导体厂无尘室室内压力大小 半导体厂无尘室室内压力必须比室外高些许，除了为避免室外的温、湿度、particle 影响无尘室生产区的环境条件外，并可延长无尘室ULPAfilter的寿命，但不能无条件增加，如此将使向外逸散的洁净空气增加而增加运转成本。气流分布须均匀 洁净室空调为带走洁净室内所产生的微尘粒子以维持洁净度故除了气流速度须达到一定之要求标准外，气流的流线形状也必须依不同的洁净室等级加以适当的控制。