Question

离子注入技术主要有哪些方面的应用?试举出一两个实例。

Answer 1

【答案】：离子注入的应用主要集中在两个方面：一是半导体的掺杂，是电子工业的重要制造技术；二是金属材料的表面改性，在经过热处理或表面镀膜工艺的金属材料表面，注入一定剂量和能量的离子，改变材料表层的化学成分、物理结构，从而改变材料的力学性能、化学性能和物理性能，是提高材料表面摩擦性能、耐磨性、耐蚀性和抗氧化性能的一种新兴技术手段。举例(也可举其他实例)：向GCr15轴承钢表面注入N'至3×10¹⁷/cm²时，显微硬度达到1100HV，耐磨性能提高3～5倍。用作人工关节的钛合金Ti-6Al-4V耐磨性差，用离子注入N⁺后，耐磨性提高1000倍，生物性能也得到改善。