Question

带氧化膜薄层的硅片用扫描电镜观察要覆碳吗

Answer 1

扫描电镜对不导电样品的处理是比较常见的问题，可以采用的方法有几种。

尽量将块状样品做小，甚至做成粉末，使样品与样品座的接触良好。
对观察样品进行镀金或喷碳处理，使样品表面形成导电膜，利于电荷流走。
最好再用导电胶将喷碳或喷金后的样品表面与样品座（台）连接，以减少电子积累。
对于无法很好解决放电效应对图像影响的，可以加快扫描速度，或用集成模式采集图像，以抑制电荷积累。
用扫描电镜的背散射探头采集图像，几乎不会有放电效应，因为背散射信号强度比较高，不会为放电电荷干扰。