真空镀膜能镀那些颜色

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摘要 Ar气是惰性气体,像离子清洗,烧靶用。
N2气一般是镀化合物膜层加入的气体,像TiN,CrN,ZrN膜层需要加入的气体,同时也要加入Ar气提高等离子体密度。有黄色,白色,玫瑰色,咖啡色等各种颜色
咨询记录 · 回答于2022-04-21
真空镀膜能镀那些颜色
Ar气是惰性气体,像离子清洗,烧靶用。N2气一般是镀化合物膜层加入的气体,像TiN,CrN,ZrN膜层需要加入的气体,同时也要加入Ar气提高等离子体密度。有黄色,白色,玫瑰色,咖啡色等各种颜色
C2H2在真空镀膜中一般是镀黑色、紫色等用的,镀类金刚石膜层也可以看工艺使用。还有加O2是镀蓝色膜层的。
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