Question

集成电路的工艺技术有哪些

Answer 1

问：集成电路的工艺技术有哪些

答：亲！集成电路的工艺技术有以下：前工序图形转换技术：主要包括光刻、刻蚀等技术；薄膜制备技术：主要包括外延、氧化、化学气相淀积、物理气相淀积(如溅射、蒸发) 等；掺杂技术：主要包括扩散和离子注入等技术。后工序划片；封装；测试；老化；筛选。辅助工序超净厂房技术；超纯水、高纯气体制备技术；光刻掩膜版制备技术；材料准备技术

问：谢谢

答：亲！相关拓展资料如下：集成电路按制作工艺可分为半导体集成电路和膜集成电路。膜集成电路又分类厚膜集成电路和薄膜集成电路。