Question

蒸镀和溅镀的区别

Answer 1

问：蒸镀和溅镀的区别

答：蒸镀和溅镀都是金属表面工艺处理技术,但有以下主要区别:1. 工艺原理不同蒸镀是在真空条件下,利用加热使金属蒸发并在基体表面凝结的工艺。它是一种化学反应过程。溅镀是利用高速离子轰击基体,使目标材料的原子或离子嵌入基体表面形成覆盖层的物理过程。2. 处理环境不同蒸镀需要在封闭的真空腔体内进行,环境为真空或惰性气体。溅镀可以在开放环境内进行,一般使用氩气护航。3. 处理温度不同蒸镀工艺需加热使金属蒸发,温度较高,一般在200-2000°C之间。溅镀温度较低,目标材料和基体都不需要加热,离子轰击过程的温升可控在60-200°C。4. 覆盖层不同蒸镀的覆盖层与基体之间为密集的化学键合,层与层之间也为化学键合。而溅镀的覆盖层与基体和层与层之间主要为原子间的物理粘结和机械嵌入。5. 处理速度不同蒸镀速度较慢,一般为 μm/min级别。溅镀速度较快,可以达到μm/s级别,处理效率高很多。6. 处理范围不同蒸镀难以处理复杂表面和内腔,更适用于表面较平滑的基体。溅镀可以处理各种复杂表面和内腔。总之,蒸镀和溅镀都是金属表面工艺处理方法,但在工艺原理、处理环境、温度、覆盖层性质、处理速度和范围等方面有较大差异。制品设计和用途不同,需要选择不同的工艺处理技术。