Question

尹志尧3nm刻蚀机是真的吗

Answer 1

问：尹志尧3nm刻蚀机是真的吗

答：您好，亲，尹志尧3nm刻蚀机是真的。根据台积电的工艺路线图，2020年Q3季度就要试产5nm工艺了，而中微半导体的5nm蚀刻机已经打入台积电的供应链。近日，中微半导体设备公司董事长尹志尧博士提到了该公司的进展，指出中微半导体正在跟随台积电按照摩尔定律的发展走，后者的3nm工艺已经研发一年多了，预计2021年初就要试产，也就是说目前中微子已经在预研3nm蚀刻机。