一氯三氢硅检测方法

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摘要 一氯三氢硅纯度的检测方法,它包括以下几个步骤:
(1)、将TCS储液罐中的TCS通过压力差压入缓冲罐,再从缓冲罐通过压力差压入反应
罐:
(2)、TCS在反应罐中与预先加入的水反应,使TCS与水反应生成硅化物和盐酸,同时
TCS含有的金属杂质与氯离子反应生成金属氯化物;
(3)、提取反应罐内的生成物后,用设备电感耦合等离子质谱进行分析,得到氯和金属的量,由氯换算成TCS的量,并计算出三氯氢硅的纯度。
2.一种用于权利要求1检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:它包括以下几个部分:TCS液灌、缓冲罐、反应罐以及密封罐,它们按顺序以管道、阀门串接。
3.根据权利要求2所述的检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:所述的缓冲罐包括
以下几个部分:通入缓冲罐的管道共三条,一条管道串接一阀门后和TCS液灌的液相接口,一条管道串接一阀门后和反应罐连接,另外的一条管路和文丘里的抽气口连接,同时串接三个阀门和两个三通,其中一个三通通过管路和TCS液灌气相接口连接,另一和三通通过管道和阀门和密封罐连接。
4.根据权利要求2或3所述的检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:所述的反应罐它包括以下几个部分:通入反应罐的管道共两条,一条管道串接一阀门后和缓冲罐连接,另一条管路串接一阀门后和密封罐连接,反应罐外侧为冰浴装置以保持反应罐恒温,反应罐至于磁力搅拌器上。
5.根据权利要求2或3或4所述的检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:所述的密封罐包括以下几个部分:通入密封罐的管道共两条,一条管道串接一阀门后和反应罐连接,另一条管路串接一阀门后通过三通和缓冲罐连接。
6.根据权利要求3所述的检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:所述的缓冲罐的底部有一作为收集TCS的凹坑。
咨询记录 · 回答于2022-01-06
一氯三氢硅检测方法
您好,我是小关老师,您的问题我已经看到了,正在整理答案,请稍等一会儿哦~
一氯三氢硅纯度的检测方法,它包括以下几个步骤:(1)、将TCS储液罐中的TCS通过压力差压入缓冲罐,再从缓冲罐通过压力差压入反应罐:(2)、TCS在反应罐中与预先加入的水反应,使TCS与水反应生成硅化物和盐酸,同时TCS含有的金属杂质与氯离子反应生成金属氯化物;(3)、提取反应罐内的生成物后,用设备电感耦合等离子质谱进行分析,得到氯和金属的量,由氯换算成TCS的量,并计算出三氯氢硅的纯度。2.一种用于权利要求1检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:它包括以下几个部分:TCS液灌、缓冲罐、反应罐以及密封罐,它们按顺序以管道、阀门串接。3.根据权利要求2所述的检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:所述的缓冲罐包括以下几个部分:通入缓冲罐的管道共三条,一条管道串接一阀门后和TCS液灌的液相接口,一条管道串接一阀门后和反应罐连接,另外的一条管路和文丘里的抽气口连接,同时串接三个阀门和两个三通,其中一个三通通过管路和TCS液灌气相接口连接,另一和三通通过管道和阀门和密封罐连接。4.根据权利要求2或3所述的检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:所述的反应罐它包括以下几个部分:通入反应罐的管道共两条,一条管道串接一阀门后和缓冲罐连接,另一条管路串接一阀门后和密封罐连接,反应罐外侧为冰浴装置以保持反应罐恒温,反应罐至于磁力搅拌器上。5.根据权利要求2或3或4所述的检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:所述的密封罐包括以下几个部分:通入密封罐的管道共两条,一条管道串接一阀门后和反应罐连接,另一条管路串接一阀门后通过三通和缓冲罐连接。6.根据权利要求3所述的检测三氯氢硅纯度的装置,其特征在于:所述的缓冲罐的底部有一作为收集TCS的凹坑。
一氯三氢硅又称氯硅烷,熔点-118℃,沸点-30.4℃,液体密度1.145g/cm3本品多为二氯硅烷生产中的副产物和中间物,常温下为无色透明有强烈刺激性气味气体,能溶于四氯化碳,二硫化碳;极易水解,水解后生成氯化氢和氢气。危险性概述燃爆危险:本品燃点低于二氯硅烷和三氯硅烷,爆炸极限暂无数据。但本品遇水分解后可生成大量氢气(爆炸极限4.5%~94%(vol))。接触危害:本品极易水解,水解后生成强烈刺激性气味气体HCl和易燃易爆气体H2(爆炸极限4.1%~74.2%(vol)),HCl对呼吸道有强烈刺激作用,接触后表现有流泪、咳嗽、咳痰、呼吸困难、流涎等。可引起肺炎或肺水肿。眼接触可致灼伤,严重可导致失明。环境危害:本品暴露在环境中时会迅速水解或自燃,其自身对环境危害研究价值不大,本品水解后产生的氢气极其易燃易爆,另一水解产物氯化氢溶于水后生成的盐酸会腐蚀金属制品。
希望我的回答能帮助到您,祝您生活愉快!
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我想咨询检测方法
用色谱怎么检测?
它可溶于四氯化碳,二硫化碳。不建议于家中检测
色谱检测条件需要物理化学轻质稳定的液体。这个并不符合
用什么方法能检测?
可以用四氯化硫和二硫化碳检测
只是该物质极不稳定,容易水解,很容易爆炸,请谨慎操作
能发我方法?
在洗净的PFA坩埚中加入试样一氯三氢硅为10毫升左右,摇匀,在冷处放置10分钟,轻轻摇动后放入蒸发器中。以净化过的氮气赶掉主体,逐渐升高温度至35~40℃(SiCl4为50~60℃),使试样慢慢挥发。当试样挥发尽时,取下坩埚用约0.2毫升经纯水器再纯化的水浸润,加0.2毫升氢氟酸,在低温下蒸发至干。取出,加1.0毫升硝酸,将PFA坩埚逐渐升温至,蒸干后取下,趁热加入滴硝酸溶解残渣,用去离子水定容10mLPFA塑料样品试管,待测。平行操作两份,并作空白试验。标准系列的配制,在每50mLPFA塑料容量瓶中加mL硝酸。配置成一系列混合标准溶液Oμg/L、50μg/L、100μg/L、1000μg/L与待测试料同时用ICP-OES法测定。5.2.2光谱测定条件5.2.2.1仪器工作参数a.仪器:赛默飞世尔公司iCAP6000型电感耦合等离子体发射光谱仪。检查个系统是否正常,按照工艺条件开启工作站点火开机,点火稳定约0.5h后,用调谐溶液进行仪器的调谐,观察各元素的灵敏度是否达到标准规范b.电感耦合等离子体发射光谱测定条件电感耦合等离子体源参数:表1参数等离子体RF功率1150W冷却气流量12L/min辅助气流量0. 5L/min雾化气压力0. 2MPa 50转/min蠕动泵转速5.2.2.2关机5.2.2.2.1将样品管插入5%硝酸溶液中清洗进样系统5~10分钟。5.2.2.2.2将样品管插入超纯水清洗5分钟,以进一步除去进样系统残留的杂质元素。5.2.2.2.3松开蠕动泵上的卡子及管线。5.2.2.2.4关闭冷却水、排风扇和气阀。5.2.2.3结果计算
❤️❤️❤️
怎么判断氯硅烷中的一氯三硅
怎样提取
一氯三氢硅又称氯硅烷
这是一种物质
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