磁控溅射镀膜与蒸发镀膜的区别
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前者为离子轰击靶材,然后靶材物质溅射,沉积在基片上。
后者物质加热,达到熔点,再达到沸点,蒸发至基片上。
后者物质加热,达到熔点,再达到沸点,蒸发至基片上。
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