Question

阴极溅射的主要特点 有哪些？

Answer 1

（1）一个粒子轰击阴极表面可溅射出的原子数，称为溅射系数。（2）阴极电位降和轰击粒子的质量越大，阴极溅射越激烈。（3）在其它条件一定时，气压越小溅射越严重，当气压大时，由于溅出的粒子易与周围高密度的气体碰撞而返回表面，因而溅出量减少。（4）阴极金属的化学特性对溅射率有显著的影响。（5）用溅射效应可除去阴极金属的污物、氧化物或钝化膜，使表面净化和活化，因而有利于粒子的吸附和渗入。（ 6）溅射出的活性原子易于吸收气体或与气体反应生成某种化合物如TixN，CrxN，TIC，CrxCy等，这些化合物沉积到某种表面上也可用于表面改性。