真空泵有哪几种类型?
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真空泵可以分为以下几种类型:
1. 机械泵:利用机械运动将气体抽出,常见的有旋片泵、齿轮泵、螺杆泵等。
2. 分子泵:利用分子间的碰撞将气体抽出,常见的有扩散泵、离子泵等。
3. 吸气泵:利用气体分子在固体表面的吸附作用将气体抽出,常见的有吸附泵、离子阱泵等。
4. 蒸发泵:利用液体蒸发产生气体压力差将气体抽出,常见的有液态氮泵、液态氦泵等。
5. 陶瓷泵:利用陶瓷材料的特殊性质将气体抽出,常见的有陶瓷转子泵、陶瓷膜泵等。
1. 机械泵:利用机械运动将气体抽出,常见的有旋片泵、齿轮泵、螺杆泵等。
2. 分子泵:利用分子间的碰撞将气体抽出,常见的有扩散泵、离子泵等。
3. 吸气泵:利用气体分子在固体表面的吸附作用将气体抽出,常见的有吸附泵、离子阱泵等。
4. 蒸发泵:利用液体蒸发产生气体压力差将气体抽出,常见的有液态氮泵、液态氦泵等。
5. 陶瓷泵:利用陶瓷材料的特殊性质将气体抽出,常见的有陶瓷转子泵、陶瓷膜泵等。
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