Question

压阻式传感器的典型特点是什么

Answer 1

压阻式传感器的典型特点如下：

1、压阻式传感器的灵敏系数比金属应变式压力传感器的灵敏度系数要大50-100倍。有的时候压阻式传感器的输出不需要放大器就可直接进行测量。

2、由于它采用集成电路工艺加工，因而结构尺寸小，重量轻。

3、压力分辨率高，它可以检测出像血压那小的微压。

4、频率响应好，它可以测量几十千赫的脉动压力。

5、由于传感器的力敏元件及检测元件控制在同一块硅片上，所以它工作可靠，综合精度高，且使用寿命长。

6、由于采用半导体材料硅制作，传感器对温度比较敏感，如不采用温度补偿，其温度误差较大。

压阻式压力传感器基本介绍：

压阻式传感器有两种类型：一种是利用半导体材料的体电阻做成粘贴式应变片，称为半导体应变片，因此应变片制成的传感器称为半导体应变式传感器，另一种是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻，以此扩散电阻的传感器称为扩散型压阻传感器。

半导体应变式传感器半导体应变式传感器的结构形式基本上与电阻应变片传感器相同，也是由弹性敏感元件等三部分组成，所不同的是应变片的敏感栅是用半导体材料制成。半导体应变片与金属应变片相比，最突出的优点是它的体积小而灵敏高。它的灵敏系数比后者要大几十倍甚至上百倍，输出信号有时不必放大即可直接进行测量记录。