LED生产中所用的晶片和集成电路所用的硅片之间的联系和区别

led生产和集成电路的生产是两回事,对吧,还是led的生产中包含了集成电路的生产呢,怎么晶片(外延片)的前段生产工艺和集成电路的中硅片的前段生产如何相识呢?... led生产和集成电路的生产是两回事,对吧,还是led的生产中包含了集成电路的生产呢,怎么晶片(外延片)的前段生产工艺和集成电路的中硅片的前段生产如何相识呢? 展开
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xmx028
2009-11-13 · TA获得超过3956个赞
知道小有建树答主
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LED是发光器件,要求半导体是能够复合发光的材料,因此常用GaAs、GaP等化合物半导体材料;硅是不能复合发光的材料,所以不能采用硅片来制作LED。
Si片是制作集成电路的主要半导体材料,因为它容易在表面形成一层优质的氧化层,这层氧化层不仅能起到很好的保护表面的作用,而且也可以用来实现许多微细加工技术(光刻、氧化等)。
如果能够让Si也发出光,那么就可以采用Si来制作LED和激光二极管,同时还容易实现光电子集成电路。这实际上正是目前研究的一个重要方向。现在已经有了一些眉目,因为多孔硅和纳米硅可以发光,但是离制作出合用的器件尚很远。
生产LED和生产集成电路,在工艺上有许多相似之处,但是要求很不相同。因此在工艺上它们并不相容。
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