非晶硅太阳能薄膜电池用到哪些原料?
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非晶硅(a-Si)太阳能薄膜电池采用非晶硅作为主要光吸收材料。其制备过程中需使用以下原料:
1. 硅气源:例如二氢化硅(SiH4)或三氢化硅(SiH3),用于在衬底上沉积非晶硅。有时也可采用其他硅氢化合物,如二氢化二硅(Si2H6)等。
2. 掺杂剂:为提高太阳能电池的性能,通常需要对非晶硅进行P型或N型掺杂。常见的P型掺杂剂为硼(B),N型掺杂剂为磷(P)。这些掺杂剂可以以气态形式被引入,例如三氢化硼(B2H6)或三氢化磷(PH3)。
3. 衬底和界面层材料:根据设备结构和性能需求,可使用不同材料作为太阳能电池的衬底,如玻璃、金属板或塑料基底等。在衬底上可能还需增加薄的氧化物(如SnO2,ITO等)或氮化物(如TiN,Si3N4等)等透明导电薄膜以优化性能。
4. 背电极材料:背电极负责从太阳能电池抽取产生的电流。常用的背电极材料有铝(Al),银(Ag)或其他高导电的金属。
在制备非晶硅太阳能薄膜电池时,还需根据具体工艺和电池结构选择合适的能源和设备。例如,采用化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)或磁控溅射技术等方法进行材料沉积。
1. 硅气源:例如二氢化硅(SiH4)或三氢化硅(SiH3),用于在衬底上沉积非晶硅。有时也可采用其他硅氢化合物,如二氢化二硅(Si2H6)等。
2. 掺杂剂:为提高太阳能电池的性能,通常需要对非晶硅进行P型或N型掺杂。常见的P型掺杂剂为硼(B),N型掺杂剂为磷(P)。这些掺杂剂可以以气态形式被引入,例如三氢化硼(B2H6)或三氢化磷(PH3)。
3. 衬底和界面层材料:根据设备结构和性能需求,可使用不同材料作为太阳能电池的衬底,如玻璃、金属板或塑料基底等。在衬底上可能还需增加薄的氧化物(如SnO2,ITO等)或氮化物(如TiN,Si3N4等)等透明导电薄膜以优化性能。
4. 背电极材料:背电极负责从太阳能电池抽取产生的电流。常用的背电极材料有铝(Al),银(Ag)或其他高导电的金属。
在制备非晶硅太阳能薄膜电池时,还需根据具体工艺和电池结构选择合适的能源和设备。例如,采用化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)或磁控溅射技术等方法进行材料沉积。
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