N的XPS分峰有哪些
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定性分析
首先扫描全谱,由于荷电存在使结合能升高,因此要通过C结合能 284.6eV
对全谱进行荷电校正,然后对感兴趣的元素相描高分办谐,将所得结果与标准图
谱对照,由结合能确定元素种类,由化学位移确定元素的化学状态,为了是结果
准确在每一次扫描得结果分别进行荷电校正。XPS 谱图中化学位移的分析一般规
律为:
1、原子失去价电子或因与电负性高的原子成键而显正电时,内层电子结合能升
高。
2、原子获得电子而荷负电时,内层电子结合能减小
3、氧化态越高,结合能越大。
4、价层发生某种变化时,所有内层电子化学位移相同
5、对于 XPS 峰主量子数口小的壳层比口大的峰强,口 相同的角量子数1大的峰
强,口,1相同的j大的峰强。
定量分析
选取最强峰的面积或强度作为定量计算的基础,多采用灵敏度因子法,因为
各元素产生光电子时的含量强度和含量不一定成正比,从而利用灵敏度因子对强
度进行修正,其做法为:以峰边、背景的切线交点为准扣除背景,计算峰面积或
峰强,然后分别除以相应元素的灵敏度因子法,就可得到各元素的相对含量,这
个相对含量是原子个数相对含量即摩尔相对含量,
XPS 图谱的分峰处理
由于在制备过程中外界条件不可能完全均匀一致,因而对于同一元素可能存
在不同的化学态,而各化学态产生的峰又有可能相互重叠,这样就对定性、定量
分析带来了不便,因而在进行数据分析时需要对可能存在重叠的峰进行分峰处
理,目前有很多数据处理软件可以进行分峰运算,其原理都是利用高斯一洛沦兹
函数,其中xPSpeak 为一位台湾学者编写的程序,其采用图形用户界面(GUT,
用于 XPS 分峰处理操作方便,简单易学。
首先扫描全谱,由于荷电存在使结合能升高,因此要通过C结合能 284.6eV
对全谱进行荷电校正,然后对感兴趣的元素相描高分办谐,将所得结果与标准图
谱对照,由结合能确定元素种类,由化学位移确定元素的化学状态,为了是结果
准确在每一次扫描得结果分别进行荷电校正。XPS 谱图中化学位移的分析一般规
律为:
1、原子失去价电子或因与电负性高的原子成键而显正电时,内层电子结合能升
高。
2、原子获得电子而荷负电时,内层电子结合能减小
3、氧化态越高,结合能越大。
4、价层发生某种变化时,所有内层电子化学位移相同
5、对于 XPS 峰主量子数口小的壳层比口大的峰强,口 相同的角量子数1大的峰
强,口,1相同的j大的峰强。
定量分析
选取最强峰的面积或强度作为定量计算的基础,多采用灵敏度因子法,因为
各元素产生光电子时的含量强度和含量不一定成正比,从而利用灵敏度因子对强
度进行修正,其做法为:以峰边、背景的切线交点为准扣除背景,计算峰面积或
峰强,然后分别除以相应元素的灵敏度因子法,就可得到各元素的相对含量,这
个相对含量是原子个数相对含量即摩尔相对含量,
XPS 图谱的分峰处理
由于在制备过程中外界条件不可能完全均匀一致,因而对于同一元素可能存
在不同的化学态,而各化学态产生的峰又有可能相互重叠,这样就对定性、定量
分析带来了不便,因而在进行数据分析时需要对可能存在重叠的峰进行分峰处
理,目前有很多数据处理软件可以进行分峰运算,其原理都是利用高斯一洛沦兹
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林赛斯(上海)科学仪器有限公司
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