平均自由程与温度有关吗
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有关。
温度升高,声子的振动能量加大,频率加快,碰撞增多,所以l减小。在高温下,碰撞加剧,最小的平均自由程等于几个晶格间距;在低温时,最长的平均自由程达晶粒的尺度。
分子自由程是一个分子在反应室内与另一种物体或分子,或晶圆支架碰撞前移动的平均距离(路程)。碰撞改变了粒子的运动方向。自由程越长,薄膜淀积的均匀性越高。
决定平均自由程大小的主要因素是系统内的压力。降低反应室内的压力可以增加平均自由程和薄膜的均匀性,也降低了淀积的温度。
扩展资料
当两个微观粒子(或粒子系统)碰撞时,若把其中一个粒子(或粒子系统)看做是粒子,把碰撞时的相互作用看做极短程的接触作用时,则碰撞概率正比于沿运动方向来看另一粒子(或粒子系统)等效的几何截面,这个几何截面就是碰撞截面。
例如:有一束可看做点粒子的B分子平行射向另一静止分子A(其质心为O)时,若B分子的轨迹线如图所示,则说明B分子在靠近A分子时由于受到A的作用而使轨迹线发生偏折。
若定义B分子射向A分子时的轨迹线与离开A分子时的轨迹线间的交角为偏折角,则偏折角随B分子与O点间垂直距离b的增大而减小。令当b增大到偏折角开始变为零时的数值为d,则d称为分子碰撞有效直径。
参考资料来源:百度百科-平均自由程
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压强不变的时候,自由程和温度有关。压强随温度变化而变化的话,自由程与温度无关 p=nKT
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平均自由程λ=kT/(√2*π*d*d*p) 其中T为温度,所以有关
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有一个公式没有
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可以代换出现T的呀
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