Question

蒸发镀膜哪些工艺比较好？

Answer 1

光学玻璃的镀膜生产工艺有：溶胶-凝胶镀膜、反应蒸发镀膜、真空阴极磁控溅射镀膜等工艺方法 。
几种工艺比较：
a)溅射镀膜与蒸发镀膜相比，有许多优点,如任何
物质均可以溅射，尤其是高熔点，低蒸气压元素和化合物；溅射膜与基板之间的附着性好；薄膜密度较高；膜厚可控制性和重复性较好等。
缺点是设备比较复杂，需要高压装置；
b)将蒸发法与溅射法相结合，即为离子镀。这种方法的优点是得到的膜与基板间有极强的附着力，有较高的沉积速率，膜的密度高。蒸发镀膜过程可以实现连续化。这种镀膜可以通过微调阀控制镀膜室中气体的成分和含量，按照人名的需求制成各种不同性质的薄膜；
c)溶胶-凝胶法制备薄膜比起传统的制膜方法，
具有以下优势：
(a)镀膜设备简单，易于操作；(b)工艺过程温度较低，镀膜通常在室温或接近室温的环境下，形成的薄膜纯度较高；(c)可以在大尺寸以及各种形状不
规则基底上镀膜；
(d)化学计量比准确，易于改性，掺杂量的范围加宽，可以有效控制薄膜成分及微观结构