用杂化轨道理论解释下bf3 nf3 空间构性
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由于硼是缺电子结构,三氟化硼形成一个4中心6电子的大π键,6个电子分别由3个氟原子提供,3个氟原子各提供1个全充满的2p轨道,与硼原子的空p轨道肩并肩,形成大π键.B原子以sp2杂化轨道成键,分子为平面正三角形分子.
三氟化氮与氨气的结构相似.N原子最外层五个电子sp3杂化,与氟形成三个键和一对孤对电子,形成三角锥状结构.
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂.三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用.
三氟化氮与氨气的结构相似.N原子最外层五个电子sp3杂化,与氟形成三个键和一对孤对电子,形成三角锥状结构.
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂.三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用.
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