Question

有没有利用掩膜板制备电子器件的掩膜支撑与对准装置，要求对准精度高，并且耐高温？

想利用金属掩膜板制备电子器件，如晶体管FET，异质结，忆阻器Memristor，光电探测器photodetector，霍尔器件Hall bar等。器件的制备如果涉及异质结的话，通常需要多个掩膜板配使用，但是目前市场上好像没有对准精度特别高的装置，而且也不兼容高温工艺，比如分子束外延MBE，热蒸发沉积等。大家有没有比较好用的掩膜支撑和对准装置或工具推荐一下。