Question

荷兰为什么能造光刻机

Answer 1

荷兰能造光刻机的原因：技术积累、西方国家技术共享和支持、芯片企业的资金支持和市场支持。

1、技术积累

荷兰的asml是从飞利浦分离出来的，而飞利浦本身的技术实力就非常强悍，所以asml在成立的时候也继承了飞利浦的很多关键技术，这是它发展的一个重要基础。

2、西方国家技术共享和支持

荷兰之所以能够拥有高端光刻机的核心技术，离不开西方一些国家的技术支持。比如目前asml的光源设备是由美国的企业提供，另外ASML的镜头是由德国的蔡司提供的，这些企业在自身的领域就是世界顶尖的水平。

除此之外，包括韩国的三星、海力士等也会跟asml分享一些技术，所以在多个国家的技术共同支持之下，荷兰的ASML才能如此发展壮大。

3、芯片企业的资金支持和市场支持

Asml之所以能够从三足鼎立当中突围并实现独家垄断，有一个很重要的原因就是有芯片企业的资金支持和市场支持。比如目前我们所熟悉的一些芯片巨头英特尔、联发科，台积电，三星，海力士都是asml的股东，这些芯片巨头源源不断的给asml提供资金支持。

除此之外，因为是asml的股东，所以这些芯片巨头在采购光刻机的时候会优先使用Asml的设备，这也是为什么ASML能够发展壮大的重要原因之一。

性能指标

光刻机的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。

分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制，所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。

对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域，光源有汞灯，准分子激光器等。