手工怎么制作麦克风
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本发明专利技术公开了一种麦克风及制作方法,涉及半导体技术领域。其中,本发明专利技术的一种麦克风包括:由背极板和振动膜极板组成的电容器;其中,振动膜极板上包括一个或多个孔。这样的麦克风的振动膜极板上包括孔,能够允许压缩空气从孔中穿过,从而减少对振动膜极板的压力,降低振动膜极板断裂的可能性,提高麦克风的抗声性能。
全部详细技术资料下载
【技术实现步骤摘要】
麦克风及制作方法
本申请涉及半导体
,特别是一种麦克风及制作方法。
技术介绍
麦克风作为一种电容式传声器,能够通过测量声波穿过大气或液体时所产生的声压产生相应的电信号。微机电系统麦克风(MEMSmicrophone)的基本结构包括一个振动膜极板和一个背极板,其中振动膜极板为实心板(称作振动膜)。振动膜在入射声波作用下会产生形变,从而改变平行板电容器的电容值。为了保证声压信号对振动膜极板产生的形变影响,振动膜极板的厚度较薄,因此其强度往往是有限的。随着入射声波的强度的增大,振动膜极板的振幅越来越大,甚至会发生断裂。APT(AirPressureTest,空气压力测试)是一种能够反应麦克风抗声性能的实验。随着客户需求的逐渐提高,对APT测试中振动膜极板的抗声性能的要求也不断提高。
技术实现思路
本专利技术的一个的目的在于提高麦克风的抗声性能。根据本专利技术的一个实施例,提供了一种麦克风,包括:由背极板和振动膜极板组成的电容器;其中,振动膜极板上包括一个或多个孔。可选地,孔的直径不大于18μm。可选地,孔在振动膜极板上呈由中心向四周发散式分布。可选地,孔在振动膜极板上呈中心对称分布。可选地,孔呈同心方环式或同心圆环式分布。可选地,孔的数量在1~500之间。可选地,振动膜极板为多晶硅薄膜。这样的麦克风的振动膜极板上包括孔,能够允许压缩空气从孔中穿过,从而减少对振动膜极板的压力,降低振动膜极板断裂的可能性,提高麦克风的抗声性能。根据本专利技术的另一个实施例,提出一种麦克风制作方法,包括:在绝缘层上方形成振动膜极板;在振动膜极板上形成孔;在振动膜极板上方形成牺牲层;...

【技术保护点】
1.一种麦克风,包括:由背极板和振动膜极板组成的电容器;其中,所述振动膜极板上包括一个或多个孔。
【技术特征摘要】
1.一种麦克风,包括:由背极板和振动膜极板组成的电容器;其中,所述振动膜极板上包括一个或多个孔。2.根据权利要求1所述的麦克风,所述孔的直径不大于18μm。3.根据权利要求1所述的麦克风,所述孔在所述振动膜极板上呈由中心向四周发散式分布。4.根据权利要求1所述的麦克风,所述孔在所述振动膜极板上呈中心对称分布。5.根据权利要求3或4所述的麦克风,所述孔呈同心方环式或同心圆环式分布。6.根据权利要求5所述的麦克风,所述孔的数量在1~500之间。7.根据权利要求1所述的麦克风,所述振动膜极板为多晶硅薄膜。8.一种麦克风制作方法,包括:在绝缘层上方形成振动膜极板;在所述振动膜极板上形成孔;在所述振动膜极板上方形成牺牲层;在所述牺牲层上方形成背极板,和位于所述背极板的上方的支撑层;通过蚀刻工艺去除所述绝缘层和所述牺牲层。9.根据权利要求8所述的方法,所述在所述振动膜极板上形成孔包括:在所述振动膜极板上方形成图案化的掩模,所述掩模决定了所述孔的位置和尺寸;以所述图案化的掩模为掩...
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【技术实现步骤摘要】
麦克风及制作方法
本申请涉及半导体
,特别是一种麦克风及制作方法。
技术介绍
麦克风作为一种电容式传声器,能够通过测量声波穿过大气或液体时所产生的声压产生相应的电信号。微机电系统麦克风(MEMSmicrophone)的基本结构包括一个振动膜极板和一个背极板,其中振动膜极板为实心板(称作振动膜)。振动膜在入射声波作用下会产生形变,从而改变平行板电容器的电容值。为了保证声压信号对振动膜极板产生的形变影响,振动膜极板的厚度较薄,因此其强度往往是有限的。随着入射声波的强度的增大,振动膜极板的振幅越来越大,甚至会发生断裂。APT(AirPressureTest,空气压力测试)是一种能够反应麦克风抗声性能的实验。随着客户需求的逐渐提高,对APT测试中振动膜极板的抗声性能的要求也不断提高。
技术实现思路
本专利技术的一个的目的在于提高麦克风的抗声性能。根据本专利技术的一个实施例,提供了一种麦克风,包括:由背极板和振动膜极板组成的电容器;其中,振动膜极板上包括一个或多个孔。可选地,孔的直径不大于18μm。可选地,孔在振动膜极板上呈由中心向四周发散式分布。可选地,孔在振动膜极板上呈中心对称分布。可选地,孔呈同心方环式或同心圆环式分布。可选地,孔的数量在1~500之间。可选地,振动膜极板为多晶硅薄膜。这样的麦克风的振动膜极板上包括孔,能够允许压缩空气从孔中穿过,从而减少对振动膜极板的压力,降低振动膜极板断裂的可能性,提高麦克风的抗声性能。根据本专利技术的另一个实施例,提出一种麦克风制作方法,包括:在绝缘层上方形成振动膜极板;在振动膜极板上形成孔;在振动膜极板上方形成牺牲层;...

【技术保护点】
1.一种麦克风,包括:由背极板和振动膜极板组成的电容器;其中,所述振动膜极板上包括一个或多个孔。
【技术特征摘要】
1.一种麦克风,包括:由背极板和振动膜极板组成的电容器;其中,所述振动膜极板上包括一个或多个孔。2.根据权利要求1所述的麦克风,所述孔的直径不大于18μm。3.根据权利要求1所述的麦克风,所述孔在所述振动膜极板上呈由中心向四周发散式分布。4.根据权利要求1所述的麦克风,所述孔在所述振动膜极板上呈中心对称分布。5.根据权利要求3或4所述的麦克风,所述孔呈同心方环式或同心圆环式分布。6.根据权利要求5所述的麦克风,所述孔的数量在1~500之间。7.根据权利要求1所述的麦克风,所述振动膜极板为多晶硅薄膜。8.一种麦克风制作方法,包括:在绝缘层上方形成振动膜极板;在所述振动膜极板上形成孔;在所述振动膜极板上方形成牺牲层;在所述牺牲层上方形成背极板,和位于所述背极板的上方的支撑层;通过蚀刻工艺去除所述绝缘层和所述牺牲层。9.根据权利要求8所述的方法,所述在所述振动膜极板上形成孔包括:在所述振动膜极板上方形成图案化的掩模,所述掩模决定了所述孔的位置和尺寸;以所述图案化的掩模为掩...
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1、准备一个原型塑料球,只要是圆形的就好,用兵乓球代替也可以。
2、将矿泉水瓶的头给剪下来,能放得下你准备的球就可以,所以准好量一下球的直径。
3、接着将球按入矿泉水的头,如果无法刚好吻合按进去,就最好用胶水先固定住。
4、接着用一张纸卷成筒状,直径和矿泉水瓶的嘴差不多为好。
5、接着把纸筒接在矿泉水嘴里,如下图所示,再用橡皮筋固定住纸筒。
6、接着用胶纸缠住整个话筒,再用一些贴贴纸做装饰,如下图所示。
义母李婆婆不由得笑道:“你这孩子,给娘讲什么笑话,尽哄我开心。等下娘就去刘氏那里先借些米面回来,咱娘儿俩先凑合这一顿。”
看到义母不信,范宇只得劝道:“娘放心和孩儿去镇上,就去那家太白楼,保证娘吃的满意。”
听着范宇不象是在说假话,李婆婆不由得皱眉道:“儿啊,你是不是身上还有能典当的值钱东西?可不要大手大脚的败家,等过些日子,娘给你相个媳妇,你留着过日子岂不是好。什么太白楼,娘是坚决不会去的。”
范宇这时饿的难受,可是看到义母又不肯走,只能耐心解释。
“娘,你可放心吧,孩儿被范连从家中赶出来,现在身无分文,哪有半点值钱的东西。就是身上这身衣服,当了也就没得穿了。我自有本事,不让娘失望就是。”范宇拉着李婆婆的袖子道。
“娘可是打小就看着你长大的,除了会收拾田地,你又有什么挣钱的本事了?”李婆婆好奇的问道。
范宇见义母态度松动,便呵呵一笑道:“现在先不说,等到了太白楼,娘自然就知道。”
李婆婆的脸色一肃道:“你莫不是想要带为娘去吃霸王餐不成?娘劝你不要走这等歪门斜道,而且娘也舍不下这脸面。若是坏了名声,娘可比死还难受,你也不能做此等下作事!”
“放心吧娘。”范宇上前拉着义母李婆婆的手臂道:“孩儿可丢不起这个人,到了太白楼,你自然会知道。”
有心死活也不肯去,可是李婆婆却又真怕范宇去太白楼碰瓷吃白食。犹豫之下,还是决定跟着范宇一同前往。若是这个义子真要做些没
2、将矿泉水瓶的头给剪下来,能放得下你准备的球就可以,所以准好量一下球的直径。
3、接着将球按入矿泉水的头,如果无法刚好吻合按进去,就最好用胶水先固定住。
4、接着用一张纸卷成筒状,直径和矿泉水瓶的嘴差不多为好。
5、接着把纸筒接在矿泉水嘴里,如下图所示,再用橡皮筋固定住纸筒。
6、接着用胶纸缠住整个话筒,再用一些贴贴纸做装饰,如下图所示。
义母李婆婆不由得笑道:“你这孩子,给娘讲什么笑话,尽哄我开心。等下娘就去刘氏那里先借些米面回来,咱娘儿俩先凑合这一顿。”
看到义母不信,范宇只得劝道:“娘放心和孩儿去镇上,就去那家太白楼,保证娘吃的满意。”
听着范宇不象是在说假话,李婆婆不由得皱眉道:“儿啊,你是不是身上还有能典当的值钱东西?可不要大手大脚的败家,等过些日子,娘给你相个媳妇,你留着过日子岂不是好。什么太白楼,娘是坚决不会去的。”
范宇这时饿的难受,可是看到义母又不肯走,只能耐心解释。
“娘,你可放心吧,孩儿被范连从家中赶出来,现在身无分文,哪有半点值钱的东西。就是身上这身衣服,当了也就没得穿了。我自有本事,不让娘失望就是。”范宇拉着李婆婆的袖子道。
“娘可是打小就看着你长大的,除了会收拾田地,你又有什么挣钱的本事了?”李婆婆好奇的问道。
范宇见义母态度松动,便呵呵一笑道:“现在先不说,等到了太白楼,娘自然就知道。”
李婆婆的脸色一肃道:“你莫不是想要带为娘去吃霸王餐不成?娘劝你不要走这等歪门斜道,而且娘也舍不下这脸面。若是坏了名声,娘可比死还难受,你也不能做此等下作事!”
“放心吧娘。”范宇上前拉着义母李婆婆的手臂道:“孩儿可丢不起这个人,到了太白楼,你自然会知道。”
有心死活也不肯去,可是李婆婆却又真怕范宇去太白楼碰瓷吃白食。犹豫之下,还是决定跟着范宇一同前往。若是这个义子真要做些没
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