压电式压力传感器和压阻式压力传感器的区别~

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上海振丹 2024-10-30
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压力传感器是能将压力信号转换为电信号的器件。其工作原理包括应变式、电容式、压阻式等,应变式基于材料应变使电阻变化,电容式靠电容值因压力改变而变化,压阻式则是硅片受压力致扩散电阻阻值改变。主要类型有绝对压力、表压、差压传感器。在汽车、航空航天、工业自动化、医疗设备等领域广泛应用,可测轮胎、油压、液压、气压、血压等压力。性能指标有精度、灵敏度、线性度和稳定性,这些指标决定其测量的准确程度、对微小变化的检测能力和信号稳定情况。

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1、工作原理不同

压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。

压电式压力传感器大多是利用正压电效应制成的。

2、侧重点不同

压电式压力传感器当晶体受到某固定方向外力的作用时,内部就产生电极化现象,同时在某两个表面上产生符号相反的电荷;当外力撤去后,晶体又恢复到不带电的状态;当外力作用方向改变时,电荷的极性也随之改变;晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。

压阻式压力传感器采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。

3、构造不同

压电式压力传感器基于压电效应的压力传感器。它的种类和型号繁多,按弹性敏感元件和受力机构的形式可分为膜片式和活塞式两类。膜片式主要由本体、膜片和压电元件组成。

压阻式传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。

参考资料来源:百度百科-压阻式压力传感器

参考资料来源:百度百科-压电式压力传感器

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