
三氯氢硅与水和氧气反应方程式
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2SiHCl3+3H2O= (HSiO)2O+6HCl
SiHCl3+O2=SiO2+HCl+Cl2
SiHCl3+O2=SiO2+HCl+Cl2
参考资料: 百度百科
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