Question

检验缺陷分成哪三种

Answer 1

检验缺陷分成哪三种：一类危急缺陷、二类严重缺陷、三类一般缺陷。

检验缺陷原理：对于检查对象的工件表面，同时驱动同轴反射照明用的照明誉坦部和斜入射照明用的照明部，并在该照明下用照相机进行拍摄。在照明部中分别设置有发出各色彩光的光源，并且，在照明部仅点亮这些三种光源中的一种，而在照明部点亮在照明部没有点亮的一种或两种光源。

检验缺陷装置原理：

其可相应于图案的密度自动地设定具有相应于缺陷部分的尺寸的缺陷检测灵敏度的尺寸判定区域，进行缺陷检查。 

检验该缺陷检查方法包含：其基于参照图像数据，于复数个方向计测图案的宽度，并将上述参照图像数据变换为相应于上述图案于上述各方向的宽度的亮度。

制作对应于上述各方向的复数个扫描图像数据；其比较上述复数个扫描图像数据，并自该等扫描图像数据选出最小的亮度的最小亮度，制作宽度图像数据。

其基于被检查图像数据与上述参照图像数据抽出缺陷部分，并将于上述图案的宽度成为最小亮度的方向测定的尺寸变换为亮度，制庆拦桐作缺陷尺寸图像数据。

以及，其基于上述缺陷尺寸图像数据与上述宽度图像数据，进行对于上述缺陷部分的缺陷判定衡物。