Question

薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度

Answer 1

谢勒公式D=kλ/FWHM cosθ计算
D：晶粒尺寸（不叫离子尺寸的）
k：0.89
λ：XRD测试的x射线的波长，一般分kα1和kα2，具体用那种需要问测试老师。
FWHM:半高宽
θ：衍射角
具体方法：选定最强的衍射峰，测量其衍射角和半高宽（可用jade读取），然后带入公式计算即可。