Question

用多晶XRD测试硅片上生长的纳米薄膜结构，为什么有的峰值测不到

如果只测硅片的话，买的硅片是（100）的，结果只能测到（400）的峰，而且（100）和（400）两个面是不是平行的
测薄膜的时候，比如硫化镉，立方结构的（111）和六角结构的（002）很接近，怎么判断是哪一个。

Answer 1

两个晶面当然是平行的，取向完全一致，所以硅片没问题。

后者要通过观察其它弱衍射峰来确定到底是六方还是立方。一般来说硫化镉六方多一点。

追问

我觉得（100）和（400）是一回事啊，为什么要分开来说
什么只能测到（400），是不是因为X射线的波长小于（100）的层间距

我做的两个样品
一个是薄膜，两个衍射峰，低一点的是六角的，是不是说明高一点的主峰也是六角的
另一个是有纳米线的薄膜，主峰和薄膜的主峰位置很靠近，但是角度要差一点，峰值很高，PDF的卡片上，立方结构的主峰（111）也很高。而且纳米线形状是3棱锥形的，是不是意味着它就是立方结构呢

追答

第一个问题，低一点是六方，说明高角度也属六方晶系的可能性更大；
第二个问题，跟你的制备条件有关，硫化镉很少见立方结构，至于说高的峰值，一般来说是001或者100，考虑到硅片的100取向。顺便说一句，峰值高低跟取向有关，且相对强度随取向而变。