Question

EDS与EDX有什么区别？

都是X射线能谱仪吗？另外，什么仪器可以比EDS更准确的定量？

Answer 1

EDX指的是能量散射型X射线荧光光谱仪，也有人叫EDXRF。

EDS是能谱仪。

XRF是比EDS更准确的定量。

XRF的应用

  a) X射线用于元素分析，是一种新的分析技术，但在经过二十多年的探索以后，现在已完全成熟，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域。

  b) 每个元素的特征X射线的强度除与激发源的能量和强度有关外，还与这种元素在样品中的含量。

  c) 根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。这就是X射线荧光分析的基本原理。

优点:

  a) 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。

  b) X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。

  c) 非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。

  d) X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。

  e) 分析精密度高。

  f) 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

缺点：

  a）难于作绝对分析，故定量分析需要标样。

  b）对轻元素的灵敏度要低一些。

  c）容易受相互元素干扰和叠加峰影响。

其实是一样的，但是美国人一般叫EDS，英国人一般叫EDX，国内叫EDS的多。

Answer 2

EDX是荧光分析，EDS是能谱分析，后者不是x射线能谱仪，如果想准确定量，可以考虑化学分析，XPS,或者俄歇分析(AES)，XPS和AES对表面含量较为适合。

Answer 3

EDX:Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer
能量色散X射线荧光光谱仪

EDS:Energy Dispersive Spectrometer
能量色散谱仪