Question

浸泡硅料表面酸残留如何清洗

Answer 1

1、在硅料酸洗后，虽然经过了漂洗和冲洗，但在硅料的表面或缝隙等仍有可能残留酸。如果直接干燥，残留酸会对硅料进行氧化，因此还需在酸洗后进行超声漂洗。

2、现在一般厂家采用酸洗后经过二级超声漂洗后，烘干、包装，还有一种是在超声漂洗后，再在ID水中养一段时间后烘干、包装。实际上这些工序要分清硅料的种类和生产车间的环境等因素而定。对一些相对较大的硅料是可以的，但是硅料不能在酸洗车间停留使其被酸雾污染。

3、若想达到更好的超声漂洗的目的：(1)、相对大的硅料采用纯水二级反溢流;(2)、小颗粒料和片料采用纯水三级反溢流，硅料最好要翻动;(3)、超声清洗和酸洗需要隔离;(4)、避免使金属与硅料直接接触产生金属离子转移;(5)、对在同一台设备中完成酸洗、超声漂洗、干燥的设备，其吸风系统必须选用优良系统。

Answer 2

　　在生产太阳能单晶多晶硅片过程中，都会产生晶棒的头尾边皮和切割后的残余。其表面在加工过程中残留了切割液、金属离子、指纹和附带杂质等。

　　1、通常是把部分料在回用过程中需通过碱洗，从产生至清洗回用这个过程中要注意三个事项：

　　A.残余料产生到清洗时间尽量要短;

　　B.硅料尽量浸入溶液，不要裸露在空气中;

　　C.操作过程中应避免指纹留在硅料上。

　　2、清洗过程：

　　超声碱洗→超声漂洗→超声漂洗

　　3、清洗工艺：(一般情况)

　　清洗槽 溶液 时间 温度 超声功率

　　超声碱洗 碱+ID 20min 60℃～80℃ 20w/升

　　超声漂洗 ID 20min 常温 20w/升

　　超声漂洗 ID 20min 常温 20w/升

　　4、清洗的头尾边料：

　　碱洗中主要清洗目的是去掉切割液和附带物等杂质。切割下来的料放置时间过久会增加切割液和杂质的附着力，比如用完餐的碟子上的油脂，凝固了以后清洗时间会延长，清洗难度也增加了。如果时间过长、温度不宜或环境不好还会造成氧化等化学反应，就像日常用的水龙头，经常擦洗会一直光亮，长时间不擦洗，被氧化成花纹等不良后果，很难恢复到以前的样子。关于指纹的清洗工艺更难，原因有二：1、每个人分泌的手汗不同;2、每个人手指接触的地方不同。指纹带来的杂质比较复杂，有酸性、有碱性、有油性，并且这些杂质会在料表面产生物理和化学反应。我们对清洗没有指纹的硅料，用一种通用工艺就可以处理的。因此在清洗行业里指纹是最难清洗的一种杂质，要处理长时间裸放的硅料我们的工艺要增加浸泡槽，使杂质的附着力柔化。

　　对有裂纹的硅料和坩底料的碱洗尽量要让纹路裂开，因为杂质或氧化物在裂纹里很难清洗干净。如果没有氧化物在碱洗过程中碱液也会侵入到裂纹里，从而漂洗工艺里增加了难度。