Question

薄膜厚度测量的薄膜厚度的测量方法

Answer 1

就要求测量精度高，功能强大的椭偏仪而言。推荐下椭偏行业最前沿的双消光式旋转补偿器设计的穆勒矩阵椭偏仪。一次设置参数就可以数秒内完成16个参数的测量，特别适用于各向异性的材料的测量。好像只有武汉颐光科技有限公司的穆勒矩阵椭偏ME-l 和国外一家是具有穆勒数据处理的能力。

Answer 2

随着科技的进步和精密仪器的应用，薄膜厚度的测量方法有很多，按照测量的方式分可以分为两类：直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器，通过接触（或光接触）直接感应出薄膜的厚度，常见的直接法测量有：螺旋测微法、精密轮廓扫描法（台阶法）、扫描电子显微法（SEM）；间接测量指根据一定对应的物理关系，将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度，从而达到测量薄膜厚度的目的。常见的间接法测量有：称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类：称量法、电学法、光学法。常见的称量法有：天平法、石英法、原子数测定法；常见的电学法有：电阻法、电容法、涡流法；常见的光学方法有：等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。