Question

半导体制造中的Track和Scanner有何区别？

Answer 1

半导体制造中的Track和Scanner都是常见的设备，但是它们的作用和功能有所不同。

Track是半导体制造中的一种设备，主要用于芯片的湿法处理。

Track通常由多个处理单元组成，包括清洗单元、蚀刻单元、涂胶单元等。Track的主要作用是对芯片表面进行各种湿法处理，如去除污染物、沉积化学品、涂覆光刻胶等，以便后续的光刻、蚀刻等工艺步骤能够正确地进行。

Scanner则是半导体制造中的另一种设备，主要用于芯片的光刻。

Scanner使用光学技术，将模板上的芯片图案照射到硅片表面，形成微米级别的图案。Scanner的主要特点是分辨率高、精度高、速度快。目前，Scanner已经成为半导体制造中不可或缺的工具，被广泛应用于芯片制造的各个领域。

因此，Track和Scanner的区别在于，Track主要用于芯片的湿法处理，而Scanner则主要用于芯片的光刻。两者的作用不同，但在半导体制造的整个生产过程中都起着重要的作用。

Answer 2

Track是晶圆涂布显影，Scanner是曝光