半导体制造,DNS清洗机是做什么的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什么意思

 我来答
xcn0000
2011-10-18 · TA获得超过281个赞
知道小有建树答主
回答量:83
采纳率:0%
帮助的人:93.2万
展开全部
DNS是厂商名字,中文叫迪恩士,就是化学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,最后还有DI清洗。IPA是异丙醇,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。
zz63301
2012-09-28
知道答主
回答量:1
采纳率:0%
帮助的人:1613
展开全部
DNS是厂商名字,中文叫迪恩士,12寸里它为主流设备,其主要主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,最后还有DI清洗。IPA是异丙醇,用于干燥,其干燥槽叫做LPD,为其专利,全名为LOW PRESSURE DRY,低压干燥
已赞过 已踩过<
你对这个回答的评价是?
评论 收起
推荐律师服务: 若未解决您的问题,请您详细描述您的问题,通过百度律临进行免费专业咨询

为你推荐:

下载百度知道APP,抢鲜体验
使用百度知道APP,立即抢鲜体验。你的手机镜头里或许有别人想知道的答案。
扫描二维码下载
×

类别

我们会通过消息、邮箱等方式尽快将举报结果通知您。

说明

0/200

提交
取消

辅 助

模 式