Question

什么是薄膜中晶粒择优取向，如何用XRD测试出来？是衍射最高峰所对应的晶面么？

Answer 1

一般情况下，形成的晶粒晶轴在各个方向上分布的机会是均等的，在做XRD时，不同的晶面间距形成不同的衍射峰，因为晶面上原子分布、不同原子衍射能力存在差异等原因，各个衍射峰强度存在差异。
如果存在择优取向，作出来的曲线和标准曲线有差异，某些峰会变强，某些峰会变弱。
不一定是最高峰所对应的晶面。

Answer 2

晶粒的择优取向是针对多晶薄膜来说的。衍射峰的强度反映了不同取向的晶粒在薄膜中的比重。强度越高的，通常表明这个取向的晶粒占大多数，当然也要结合粉末衍射的强度比来看就更准确了。
关于测试，通常用XRD theta/2theta 联动扫描，对于外延薄膜，先找到衬底的衍射峰，然后依次优化PSI， PHi和2 theta角。之后做大范围的扫描，通常就可以找到则优取向了。但有时外延层和衬底之间会有不同的PSI和PHI角，这个时候就需要再优化外延层的PSI 和PHI，然后再扫描。