台阶仪的产品特点
台阶仪产品特点分两种，测量台阶的方法分为接触式和非接触式。
若对测量台阶的精度和速率无较高的要求、不介意测量过程中划伤产品表面、且材质不是软质材质和尖锐产品，可选用接触式的台阶仪进行台阶的测量。台阶仪通常由一个机械探针和一个测量系统组成。机械探针可以是一个尖锐的针尖或球形探头，它会与被测表面接触并沿表面运动。当机械探针接触到被测表面时，测量系统会记录下机械探针的运动轨迹和力的变化。通过测量探针在表面上的运动和受到的力的变化，可以计算出表面的形貌参数。测量原理中的关键是探针与被测表面的接触和运动，因此需要保证探针的稳定性和精确性。此外，还需要考虑表面的硬度、光滑度等因素对测量结果的影响。但接触式台阶仪在测量过程中容易发生撞针现象，仪器寿命较短。
若对测量精度、测量速率有要求，或者测量产品是软质材料或者尖锐产品等接触式台阶仪难以测量的，或者希望采用不损伤产品的非接触形式测量的，可以选用以压电陶瓷驱动的白光干涉仪进行台阶测量。
压电陶瓷驱动的白光干涉仪测量台阶是采用光学的原理，可以实现无损检测，不会刮伤产品表面。
测量精度可以达到亚纳米级别；
可以实现多线测量，快速选取比探针式更多的截面，保证测量稳定性；
软质和尖锐产品等接触式台阶仪无法测量的产品，白光干涉仪也可以测量；
软件功能丰富，自动测量最高最低点、平均值、统计分析等；
可以测高透明产品，低至0.02%反射率的表面也可以轻松采集点云成像；
在倍率精度相同的情况下，白光干涉仪可以获取更大的视野，以面的形式扫描，一般在数秒钟内即可完成测量，AM-7000系列可以达到400μm/s的扫描速度。
综上，可以根据自己的需求选择不同产品特点的台阶测量仪器。
邦恩精密
2024-11-08 广告
台阶仪是超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要用来测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。应用场景适应性强，对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位。
台阶仪产品特点
1.亚埃级位移传感器
具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；
2.超微力恒力传感器
1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；
3.超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。
工作原理
当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。通常使用2μm半径的金刚石针尖来测量这些小特征。一个精密的xy载物台联合扫描轴R和转台θ，在测针下移动样品，测针中的垂直位移被转换为与特征尺寸相对应的电信号。然后将这些电信号转换为数字格式，在其中它们可以显示在计算机屏幕上并进行操作以确定有关基材的各种分析信息。可以微调扫描长度和扫描速度，以增加或减少分析时间和分辨率。此外，测力可调以适应硬质或软质材料表面。
可以说台阶仪对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。但是也有其难以克服的缺点：
1由于测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降；
2测头为了保证耐磨性和刚性而不能做得非常细小尖锐，如果测头头部曲率半径大于被测表面上微观凹坑的半径必然造成该处测量数据的偏差；
3为使测头不至于很快磨损，测头的硬度一般都很高，因此不适于精密零件及软质表面的测量。
