Question

EDS、EDX和EDXRF有什么区别

扫描电镜中常带的那个附件能谱，简称是EDS还是EDX？很多帖子里说EDX是EDXRF的一种?但是能谱可以测B以后的元素，EDXRF现在最新的仪器也只宣称测到F，它们到底有什么联系和区别呢？谁能给个清楚的答案？

Answer 1

EDS是能谱分析，EDX是荧光分析，EDXRF是能量色散型荧光X射线，目前有害物质分析仪和一些镀层厚度分析仪利用此原理。
EDS，（ 电子差速锁）英文全称为ElectronicDifferentialSystem， 它是ABS的一种扩展功能，用于鉴别汽车的轮子是不是失去着地摩擦力，从而对汽车的打滑车轮进行控制。另有an HP company 是全球信息服务业领导者之一，以协助全球客户提高企业的运营绩效。另有EDS (能谱，Energy Dispersive Spectrometer)，EDS电气设计软件包。
EDX:Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy能量色散X射线光谱仪，也可简写为EDS
EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的， 根据波长测定试样所含的元素，根据强度测定元素的相对含量。
常用的EDX探测器是硅渗锂探测器。当特征X射线光子进入硅渗锂探测器后便将硅原子电离，产生若干电子-空穴对，其数量与光子的能量成正比。利用偏压收集这些电子空穴对，经过一系列转换器以后变成电压脉冲供给多脉冲高度分析器，并计数能谱中每个能带的脉冲数。

Answer 2

EDX是荧光分析，EDS是能谱分析，后者不是x射线能谱仪，如果想准确定量，可以考虑化学分析，XPS,或者俄歇分析(AES)，XPS和AES对表面含量较为适合

追问

就是说EDS和EDX完全不是一回事吗？

Answer 3

EDX和EDS都是 Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy能量色散X射线光谱仪的简称，二者应该是一样的，
XRF：X射线荧光光谱分析(X Ray Fluorescence)
所以，EDXRF是兼有二者的功能

Answer 4

EDAX is a name of a company. Some people use it instead of the name of a techinique (EDS, or EDX) because they do not know better. Including their peers that review their papers. That name misuse has historical roots, since EDAX was the first company on market with EDS systems. Please, do not confuse other people with wrong explanations.