Question

submicrometer是多少米，10的负多少次方？

rt

Answer 1

submicrometer是亚微米,集成电路通常把0.8—0.35μm称为亚微米，0.25μm及其以下称为深亚微米，0.05μm及其以下称为纳米级。深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子体刻蚀技术、离子注入技术、同互连技术等。目前，国际上集成电路的主流生产工艺技术为0.18—0.25μm，预计2006年主流加工技术将提高到0.1μm，2012年将达到0.05μm，进入纳米级。