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WithinthisworkdepositionofCr–C/a-C:HcoatingspreparedbyUBMsputteringwasshown,leadingto...
Within this work deposition of Cr–C/a-C:H coatings
prepared by UBM sputtering was shown, leading to Cr–C
phases embedded in an a-C:H matrix. Depending on the
pCH4/pT ratio during deposition, the coatings properties
resulted in high hardness (H=48 GPa) but high coefficients
of friction (cof ¨0.5), or low hardness (H=10 GPa) with
combined low coefficients of friction (cof=0.15). The
plasma parameters Ei and Ji/Ja have been shown to have
a distinct influence on the sp3 and sp2 content and Cr–C
formation within the coatings. While Ei primarily influences
a-C:H properties as expected, Ji/Ja has a significant
influence on the formation of the Cr–C phases. Therefore,
Cr–C/a-C:H coatings with tailored properties can be
prepared.
Acknowledgements
The authors are grateful to Dr B. Wilhelm and B.
Chernev (Research Institute for Electron Microscopy, Graz
University of Technology) for Raman investigations. This
work was supported by the Forschungsfo¨rderungsfonds der
Gewerblichen Wirtschaft O¨ sterreichs. 展开
prepared by UBM sputtering was shown, leading to Cr–C
phases embedded in an a-C:H matrix. Depending on the
pCH4/pT ratio during deposition, the coatings properties
resulted in high hardness (H=48 GPa) but high coefficients
of friction (cof ¨0.5), or low hardness (H=10 GPa) with
combined low coefficients of friction (cof=0.15). The
plasma parameters Ei and Ji/Ja have been shown to have
a distinct influence on the sp3 and sp2 content and Cr–C
formation within the coatings. While Ei primarily influences
a-C:H properties as expected, Ji/Ja has a significant
influence on the formation of the Cr–C phases. Therefore,
Cr–C/a-C:H coatings with tailored properties can be
prepared.
Acknowledgements
The authors are grateful to Dr B. Wilhelm and B.
Chernev (Research Institute for Electron Microscopy, Graz
University of Technology) for Raman investigations. This
work was supported by the Forschungsfo¨rderungsfonds der
Gewerblichen Wirtschaft O¨ sterreichs. 展开
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在 Cr-C│a-C 的这一个工作沈淀里面:H 涂料
被溅散的 UBM 准备被显示了,对 Cr-C 带领
时期在 a-C 中埋入:H 点阵式。取决于这
pCH 4|pT 比在沈淀期间,涂料特性
造成高度坚硬 (H=48 GPa)除了高系数
摩擦 (cof ¨ 0.5), 或低的坚硬 (H=10 GPa)与
联合了摩擦的低系数。(cof=0.15)这
血浆叁数 Ei 和 Ji│Ja 已经被显示有
在 sp 3 上的清楚的影响力和 sp 2 内容和 Cr-C
在涂料里面的形成。Ei 主要地影响
a-C:H 特性当做期望, Ji│Ja 有一重要的
在 Cr-C 的形成上的影响力逐步实行。因此,
Cr-C│a-C:H 涂料用量身订做的财产能是
准备。
承认
作家感谢 B. 威廉医生和 B 。
Chernev (研究学会为电子显微镜使用, Graz
技术的大学)为拉曼调查。这
工作被 Forschungsfo ¨ rderungsfonds der 支援了
Gewerblichen Wirtschaft O ¨ sterreichs。
被溅散的 UBM 准备被显示了,对 Cr-C 带领
时期在 a-C 中埋入:H 点阵式。取决于这
pCH 4|pT 比在沈淀期间,涂料特性
造成高度坚硬 (H=48 GPa)除了高系数
摩擦 (cof ¨ 0.5), 或低的坚硬 (H=10 GPa)与
联合了摩擦的低系数。(cof=0.15)这
血浆叁数 Ei 和 Ji│Ja 已经被显示有
在 sp 3 上的清楚的影响力和 sp 2 内容和 Cr-C
在涂料里面的形成。Ei 主要地影响
a-C:H 特性当做期望, Ji│Ja 有一重要的
在 Cr-C 的形成上的影响力逐步实行。因此,
Cr-C│a-C:H 涂料用量身订做的财产能是
准备。
承认
作家感谢 B. 威廉医生和 B 。
Chernev (研究学会为电子显微镜使用, Graz
技术的大学)为拉曼调查。这
工作被 Forschungsfo ¨ rderungsfonds der 支援了
Gewerblichen Wirtschaft O ¨ sterreichs。
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