工业生产氮化硅的化学方程式
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简单地讲，就三种方法：
（1）2N2+6H2+3SiCl4==高温==12HCl+Si3N4
。
（2）3SiCl4+16NH3====12NH4Cl
+
Si3N4
（3）3Si+2N2==△===Si3N4
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（1）2N2+6H2+3SiCl4==高温==12HCl+Si3N4
。
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