大家帮个忙,有道物理题不会做,谢谢了
制造半导体元件时,常需要精确地测定硅片上的二氧化硅薄膜的厚度,这时可以把二氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉,使它成为劈尖,利用等厚度干涉条文测处其厚度。如图,已知Si的折射率为3...
制造半导体元件时,常需要精确地测定硅片上的二氧化硅薄膜的厚度,这时可以把二氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉,使它成为劈尖,利用等厚度干涉条文测处其厚度。如图,已知Si的折射率为3。42,SiO2的折射率为1。5。用氦氖激光(波长=632。8nm)垂直照射,在反光中观察到在腐蚀区域有8条暗纹,求SiO2薄膜的厚度。
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