Question

蒸镀的加热方式有什么特点?

Answer 1

加热方式有五种，各特点是：
1.电阻加热：这是一种最简单的加热方法，设备便宜、操作容易是其优点。
2.电弧加热：蒸镀速率快，可达每秒1.0微米；基板不须加热；可镀高温金属及陶瓷化合物；镀膜密高且附着力佳
3.感应加热：加热效率佳，升温快速，并可加热大容量。
4.电子束加热：这种加热方法是把数千eV之高能量电子，经磁场聚焦，直接撞击蒸发物加热，温度可以高达30000C。
5.雷射加热：激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上，产生局部瞬间高温使其逃离。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高，因此准分子雷射的功率密度甚高，用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物，镀膜的品质甚佳。