Question

氦质谱检漏仪的工作原理

Answer 1

环境温度：5～35℃，相对湿度： <80%，供电电压：单相交流220V??10%，50Hz大工作电流：10A。合肥迪泰真空技术有限公司是一家新兴的高新技术企业。专门从事氦质谱检漏、真空箱氦检漏系统以及真空应用产品的研发。是集研发、制造、销售和售后服务为一体的现代化企业。公司本着“诚实，进取，创新，发展”的经营理念为广大客户提供优质产品和完善的售后服务。如果想了解的话可以联系张经理; 13856056508，地址：合肥市高新区海棠路269号

Answer 2

检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。
在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。
质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。
楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪的原理和分析过程。
其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪，只是出于成本和灵敏度的考虑，更多的用的是四极杆质谱检漏仪。

Answer 3

Answer 4

氦质谱检漏仪是一种专门用于检测氦气的质谱仪，其内部有一套高真空系统，以及一个与其相连的质谱室。外界的气体进入到检漏仪质谱室后，首先会在离子源处被电离，产生离子。气体离子被加速后进入磁场，其路径会被偏转，由于不同的离子荷质比不同，偏转半径也不同。在合适的地方设置一个狭缝，就可以仅让示踪气体——氦气的离子通过并到达收集极。收集极得到的离子流信号和进入检漏仪的氦气量多少，即泄露率的大小成正比。通过测量该信号，就可以测量泄漏率。