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直流电源是经过整流设备把交变电流变成单一方向的电流,可做直流充电和电镀等,要求高的还要稳压。交流电源一般指的是工频把现有的电压等级变高或低(当然也可是变频电源)。而射频电源是属于高频交变电流。
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溅射过程所用设备的区别就是电源的区别。 其它都一样,就是所用电源不一样。直流运用直流电源,射频运用交流电源(射频属于交流范畴,频率是13.56MHz
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