Question

等离子体刻蚀机台用的真空泵该如何保养？

我们公司用的等离子体刻蚀机台使用气体为四氟化碳和氧气，使用的是旋片式真空油泵。使用过程中发现在油泵的出气口及泵的腔体中有白色的结晶体产生。故而提出问题，有哪位朋友知道此白色结晶物为何物，真空泵该如何保养呢？

Answer 1

白色结晶应该是你被抽的气体和油在高温下生成的产物吧，勤换油，在进气口加个过滤装置，你这样保养，长期也不是办法。这旋片泵这样用迟早会掐死，选选其它的泵吧，水环泵就好用啊 ，真空度要求高的话，就在前面加的罗茨泵，组成机组。

Answer 2

勤换油，用合成真空泵油，定期更换排气滤芯及清理油箱

Answer 3

应该是你刻下来的东西~~ Etching现在很少用油泵的，基本上以干泵为主~

Answer 4

白色结晶物的成分应该复杂一些，四氟化碳电离后和基片的混合物，再经氧化，再加上到达泵口的大气反应，再加上油分子反应。。。。大概是这意思，我说的不一定对，但，应该有毒或是腐蚀性，不要直接接触。
泵的保养么。。有条件的换成干泵，可以基本免维护

就选片泵来说，出气口管道要密封性好，避免与大气反应，出口管道要做横向弯曲设计，以防止回流。保养不一定非要解体，热泵状态下，可以用少量新油洗一洗泵，再换油。。。方法很多。。。

是做半导体晶片的？

Answer 5

四氟化碳与油蒸汽产生的，多清洗，以后可以采用分子泵的，