Question

电容式传感器都能检测哪些物理量，检测微小变形通常用

Answer 1

常见的有变截距型，便面积型，变介电常数型。
但是用于位移测量的通常是采用变截距原理的。也就是用被测物体（需要具有导电性）作为电容的一个极板，用传感器作为电容的另外一个极板。会影响这个电容电容值的因素就是距离，正对面积和间隙介质。如果想用电容传感器测位移，就要确保后两者不会变化。

以德国米铱capaNCDT为例，可以测量导体材料和非导体材料（测量非导体材料时，采用变介电常数原理）。绝对误差可以达到0.1微米，分辨率达到0.0375纳米。但是要求不能有油污和水等影响因素（恒定的油污和水也是可以补偿的，不恒定的就会有问题），否则会影响电容的介电常数。