Question

请教薄膜样品做XRD、SEM和原子力显微镜测试的先后顺序？

如题，做这些测试会不会对薄膜表面有影响，需要考虑测试的先后问题吗？

Answer 1

薄膜样品做XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。在这三个测试中原子力显微镜更具有优势。想了解更详细的信息，推荐咨询Park原子力显微镜。Park原子力显微镜的Park NX-Hivac。在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力，从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命，使扫描更加低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精确的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。

XRD、 SEM、AFD三者的区别：
1、 XRD（X-ray diffraction）是用来获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构。
2、 SEM（扫描电子显微镜）是一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
3、 AFM （原子力显微镜）是一种表面观测仪器，与扫描隧道显微镜相比，能观测非导电样品。
XRD通常薄膜厚度不够的话，需要剥离研磨制成粉末样品。SEM和AFM根据样品的特性选择一个测试就可以。测试时通常是选择同批次，同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。

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Answer 2

首先一般情况下XRD，和AFM不会损伤样品表面，除非有些专门做AFM检测的老师，为了一次多做些样品，可能要把你的样品剪成小块，可以提前问下。另外SEM也会有这种被剪成小块，很多情况下还要被喷金，尤其是如果是检测中心的话，可能会跟其他人的样品一起测，这时就会一起被喷金。喷金时如果是高分子材料，电流太高，喷金时间太长，可能会熔化变形。
做XRD还要注意就是薄膜样品，要求表面平整，所以如果不平，也许会被压平，要考虑会不会损伤表面形貌。
AFM和SEM背面要贴导电胶或一般双面胶，揭下来后背面可能会有残余，如果薄膜太脆太薄也可能会被破坏。
以上是我自己总结的，希望能帮到你。
最后，我建议的是，如果上述都不妨碍的话，可以先做AFM,再XRD, 最后SEM.另外AFM和XRD先后不很要紧。

Answer 3

XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。
1 XRD（X-ray diffraction）是用来获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构。
2 SEM（扫描电子显微镜）是一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
3 AFM （原子力显微镜）是一种表面观测仪器，与扫描隧道显微镜相比，能观测非导电样品。
XRD通常薄膜厚度不够的话，需要剥离研磨制成粉末样品。SEM和AFM根据样品的特性选择一个测试就可以。测试时通常是选择同批次，同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。

Answer 4

如果薄膜导电，不需要喷金等，可以先测AFM，再测SEM，最后测XRD否则先测AFM，再测XRD，最后测SEMAFM和XRD是无损检测，但AFM怕样品弄脏，所以一般先测。