ITO薄膜的基本性能

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介捷弥会
2020-05-17 · TA获得超过3万个赞
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【ito膜在led中的作用】为了提高led芯片的出光效率,人们想了许多办法。比如,当前市场上出现了许多亮度较高的ito芯片的led,gan基白光led中如果用ito替代ni/au作为p型电极芯片的亮度要比采用通用电极的芯片高20%-30%。在众多可作为透明电极的材料中,ito是被最广泛应用的一种,ito薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,通常有两个性能指针:电阻率和透光率。主要是由于ito可同时具有低电阻率及高光穿透率的特性,符合了导电性及透光性良好的要求。在氧化物导电膜中,以掺sn的in2o3(ito)膜的透过率最高和导电性能最好,而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形。
【ito薄膜】是一种n型半导体材料,具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。
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