Question

xps前三个峰代表什么？？

Answer 1

前三个峰是指用电子能谱分析样品表面时相应元素的含量。因为是表面分析，深度只有0.5~0.7nm，所以峰面积不是指样品中元素的总含量。

从结合能值和峰形来看，是三价Fe。2p3/2和2p1/2：2表示主量子数n=2，p表示l=1（s、p、d、f分别表示角量子数l=0、1、2、3）。原子中的电子既有轨道运动又有自旋运动。

功能与特点

（1）定性分析－-根据测得的光电子动能可以确定表面存在哪些元素，

a.能够分析出了氢，氦以外的所有元素，灵敏度约0.1at%。空间分辨率为100um, X-RAY的分析深度在1.5nm左右。

b.相隔较远，相互干扰较少，元素定性的相邻元素的同种能级的谱线标识性强。

c.能够观测化学位移，化学位移同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。化学位移信息是利用XPS进行原子结构分析和化学键研究的基础。

（2）定量分析－-根据具有某种能量的光电子的强度可知某种元素在表面的含量，误差约20%。既可测定元素的相对浓度，又可测定相同元素的不同氧化态的相对浓度。

（3）根据某元素光电子动能的位移可了解该元素所处的化学状态，有很强的化学状态分析功能。

（4）由于只有距离表面几个纳米范围的光电子可逸出表面，因此信息反映材料表面几个纳米厚度层的状态。

（5）结合离子溅射可以进行深度分析。

（6）对材料无破坏性。

（7）由于X射线不易聚焦，照射面积大，不适于微区分析。

（8）是一种高灵敏超微量表面分析技术，样品分析的深度约为20Å，信号来自表面几个原子层，样品量可少至10的－8次方g，绝对灵敏度高达10的－18次方g。