Question

如何制备薄的断面样品，做SEM分析？

石英衬底上镀膜，准备看看薄膜的厚度，采用直接掰开的方式，测试出来发现薄膜脱落，或者是效果很差，怎么办？？做过断面的大侠求指点啊，如何制备一个比较好的断面样品啊？

Answer 1

先用金刚刀在衬底背面划出一道浅沟，很容易就掰开了，而且断面很整齐。

Answer 2

一般都是在液氮里面掰断，膜比较脆不容易弯曲吧

Answer 3

你这膜本身的问题吧~长得太不结实了。