Question

气敏传感器的工作原理是什么？它利用的是半导体的什么特性

Answer 1

声表面波器件之波速和频率会随外界环境的变化而发生漂移。气敏传感器就是利用这种性能在压电晶体表面涂覆一层选择性吸附某气体的气敏薄膜，当该气敏薄膜与待测气体相互作用（化学作用或生物作用，或者是物理吸附），使得气敏薄膜的膜层质量和导电率发生变化时，引起压电晶体的声表面波频率发生漂移；气体浓度不同，膜层质量和导电率变化程度亦不同，即引起声表面波频率的变化也不同。通过测量声表面波频率的变化就可以准确的反应气体浓度的变化。

Answer 2

有两种原理不同的气敏二极管。其中的“金属氧化物气敏二极管”是在硅半导体材料表面（隔着一层氧化硅绝缘层）蒸镀一层对各种气体敏感的金属氧化物，比如氧化镉，氧化钛，氧化锌等等。这些金属氧化物遇到特定的敏感气体分子时会改变介电常数，导致二极管的结电容发生变化。通过测量二极管的结电容可以测量敏感气体的浓度。