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电镜是扫描电镜还是透射电镜呢?电镜一般用来看表面形貌,粗糙度等,横截面可以得到薄膜厚度。XRD一般用来分析薄膜成分,得到主要元素的峰值,以及键的信息,具体可以参考元素的谱峰值。
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追问
是扫描电镜,薄膜厚度会影响薄膜的那些特性?我的是无掺杂ZnO薄膜
追答
扫描电镜,那就看看表面形貌,粗糙度,横截面看看薄膜厚度。ZnO是直接带隙的半导体材料,也是透明导电薄膜,厚度应该会影响到薄膜的透光率和方块电阻,你可以加测一下。
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